3D电雾化系统，是北京甄耀言科技有限公司自主研发的高精度多轴联动设备，专为微纳材料沉积、精密喷涂、功能性涂层制备等场景打造，广泛应用于半导体、生物医疗、优良材料等领域的精密加工工序，可实现三维空间内的精准雾化沉积。

【产品特点】

■3D电雾化系统，是北京甄耀言科技有限公司自主研发的高精度多轴联动设备，专为微纳材料沉积、精密喷涂、功能性涂层制备等场景打造，广泛应用于半导体、生物医疗、优良材料等领域的精密加工工序，可实现三维空间内的精准雾化沉积。

■系统采用四轴联动架构，X/Y 轴搭载高性能直线电机，配合交叉滚柱导轨与 50nm 高分辨率光栅反馈，可实现 ±0.3μm 的重复定位精度与 ±0.5μm 的定位精度，最小步长低至 50nm，确保平面内微米级运动控制。X/Y 轴有效行程达 ±500mm，最大运动速度 500mm/s，兼顾加工效率与稳定性；Z 轴采用直线电机驱动，行程 ±100mm，定位精度 ±2μm，可适配不同厚度工件的雾化加工需求。θX 轴（A 轴）采用 DD 马达加减速器驱动，支持 360° 连续旋转，重复定位精度 ±0.15sec，定位精度 ±3sec，可实现工件的多角度姿态调整，完成复杂曲面的均匀雾化沉积。

■设备负载性能优异，Z 轴可调负载范围为 1-30kg，AC 轴末端最大负载 20kg，适配多种雾化喷头与夹具类型。整机采用高刚性结构设计，重量达 1000kg，有效抑制加工过程中的振动误差，保障长期稳定运行。3D电雾化系统支持定制化控制方案，可与多种雾化喷头、压力控制单元无缝对接，实现流量与运动路径的精准同步控制，大幅提升涂层均匀性与一致性。

【产品参数】