13810205460
PRODUCT CENTER

产品中心

气浮直线尺
产品简介:

气浮直线尺是北京甄耀言科技有限公司推出的高性能精密运动组件,专为高洁净、无摩擦、超高直线度的运动场景设计,广泛应用于半导体制造、光学检测、精密测量等领域,为微米级运动控制提供稳定可靠的解决方案。

更新时间:2026-05-08

访问量:981

产品价格:

厂商性质:生产厂家

服务热线

15533992748

立即咨询
产品介绍

【产品特点】

气浮直线尺是北京甄耀言科技有限公司推出的高性能精密运动组件,专为高洁净、无摩擦、超高直线度的运动场景设计,广泛应用于半导体制造、光学检测、精密测量等领域,为微米级运动控制提供稳定可靠的解决方案。

■产品采用花岗岩基座与气浮支撑结构,实现了无接触式运动,可以消除机械摩擦误差,具备极低的直线度与平面度误差。STM 系列提供 800-2300mm 的长行程可选,截面尺寸包含 150×100mm、150×200mm 两种规格,适配不同负载与安装空间需求;其直线度误差低至0.5um+0.5×10⁻⁶L(L 为行程),搭配三点调平垫块,平面度可与直线度保持一致,抗最大扭矩达 1.5Nm,保障长行程运动的稳定性。STL 系列则主打中短行程精密应用,测量行程覆盖 600-800mm,直线度保证值分别小于 0.8um 与 0.9um,100mm×100mm 的紧凑截面设计,适配设备小型化需求,最大中心负载 15kg,抗扭矩 1.2Nm,满足高精度定位需求。

气浮直线尺预载方式支持真空预载与磁力预载两种模式,STM 系列采用真空预载,输入气压 0.6MPa,气体流量 6L/min(搭配真空发生器 40L/min);STL 系列采用磁力预载,耗气量仅 3.2L/min,兼顾性能与运行成本。花岗岩基座具备优异的热稳定性与刚性,整机重量从 27kg 到数百公斤不等,可有效抑制振动干扰,保障长期运行精度

■产品支持定制化行程与安装配置,可与直线电机、光栅编码器无缝对接,构建完整的精密运动平台。北京甄耀言科技有限公司依托多年气浮技术积累,为产品提供技术支持与售后保障,是高精密制造领域的理想运动组件选择。

在线留言

ONLINE MESSAGE

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
联系方式

15533992748

(全国服务热线)

北京市海淀区上地东里四区4号

syj@bjzyykj.com

扫码加微信

Copyright © 2026北京甄耀言科技有限公司 All Rights Reserved   工信部备案号:京ICP备2024062541号-3

技术支持:化工仪器网   管理登录   sitemap.xml

关注

联系
联系
顶部