13810205460
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| 参 数 | X轴（上轴） | Y轴（下轴） |
| 有效行程 mm | 330 | 330 |
| 光栅分辨率 μm | sin\cos 4.88nm（可选绝对值或更高分辨率） | |
| 重复定位精度 μm | ±0.25 | |
| 定位精度 | ±1μm | |
| 平面度 | ≤±2.5um | |
| 直线度 | ≤±1.5um | ≤±2um |
| 电机推力 | 额定60N/峰值210N | 额定120N/峰值420N |
| 最小步长 | 50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) | |
| 最大速度 m/s | 1000mm/s | |
| 最大加速度（空载）G | 1.5g（上轴）1g（下轴） | |
| 最大负载 kg | 30 | |
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