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【产品特点】
■平台采用高强度铝合金精密加工而成,表面经特殊处理兼具刚性与稳定性,整机重量仅 20kg,便于集成与安装。XY 轴、θXY 轴、Z 轴均搭载直线电机驱动,θZ 轴采用直驱电机,配合 4.88nm 光栅编码器(XY/Z 轴)与 0.04sec 分辨率圆光栅(θZ 轴),实现 ±0.2μm(XY 轴)、±0.3μm(Z 轴)的重复定位精度,定位精度达 ±1μm,最小步长低至 100nm,为精密对位提供可靠保障。
■动性能方面,XY 轴有效行程 ±50mm,最大速度 100mm/s;Z 轴行程 ±50mm,速度 15mm/s;θXY 轴与 θZ 轴分别实现 ±3deg、±5deg 旋转,最高转速 4rps,兼顾行程范围与响应速度。水平负载可达 10kg,可适配多种工件尺寸与重量需求。
■运动性能方面,XY 轴有效行程 ±50mm,最大速度 100mm/s;Z 轴行程 ±50mm,速度 15mm/s;θXY 轴与 θZ 轴分别实现 ±3deg、±5deg 旋转,最高转速 4rps,兼顾行程范围与响应速度。水平负载可达 10kg,可适配多种工件尺寸与重量需求。

规格 | XY轴 | θXθY轴 | Z轴 | θZ轴 |
有效行程 | ±50mm | ±3deg | ±50mm | ±5deg |
电机类型 | 直线电机 | 直线电机 | 直线电机 | 直驱电机 |
光栅分辨率 | 4.88nm(1vpp) | 4.88nm(1vpp) | 4.88nm(1vpp) | 0.04sec |
最小步长 | 100nm | 0.3sec | 100nm | 0.1sec |
重复定位精度 | ±0.2um | ±1sec | ±0.3um | ±1sec |
定位精度 | ±1um | - | ±1um | ±5sec |
速度 | 100mm/s | 30deg/sec | 15mm/s | 4rps |
负载 | 水平负载10kg,垂直使用负载请联系厂家沟通 | |||
质量 | 整机重量20kg | |||