北京甄耀言科技自主研发的RWZC-系列大理石直线电机，是融合天然大理石基座技术与直线电机直接驱动优势的超精密运动控制核心装备，专为微米 / 亚微米级高精度定位、高速直线运动场景打造。

【产品特点】

■本产品是北京甄耀言科技自主研发生产的单轴封闭式超高精度直线电机运动平台；

■配备高精度光栅，分辨率达0.1um；

■专为精密智能制造场景打造，从结构底座、检测反馈到运动控制全维度实现高精度、高稳定性设计，是电子加工、半导体封装、精密检测、微纳加工等行业的核心运动执行部件。

■平台采用天然大理石整体精密研磨底座，材料刚性强、热膨胀系数极低、抗震抗形变能力优异，，从根源上保证长期运行精度不漂移；RWZC-系列大理石直线电机搭配直线电机直驱传动结构，无丝杆传动回程间隙、无机械磨损，响应速度快、运行平稳顺滑，可实现长行程、大负载稳定精密进给。

■平台标配高精度光栅尺闭环反馈系统，位置分辨率可达 0.1μm，全行程位置精度、重复定位精度达到超高等级，满足微米级、亚微米级精密定位、往复运动、高速点位控制需求。

■产品整体结构紧凑可靠，安装孔位标准化设计，适配自动化集成设备，防护性与耐用性优异，可适配长时间连续工业生产工况。

■依托公司精密机加、精密装配与精度校准全流程自研生产能力，RWZC-系列大理石直线电机精度一致性、运行稳定性远优于通用传动模组，可根据客户行程、负载、精度需求定制化开发，广泛应用于半导体晶圆加工、微电子精密焊接、光学检测对位、精密微加工等自动化领域，为客户设备提供稳定可靠的超高精度运动解决方案。

【产品二维图及选型参数】