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三轴精密运动激光加工系统
产品简介:

三轴精密运动激光加工系统是一款专为高精度激光加工场景打造的自动化设备,集成了高稳定性运动平台与精密控制单元,广泛应用于电子、半导体、精密机械等领域的微加工、切割与打标工序。

更新时间:2026-05-25

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产品介绍


产品特点


■系统核心采用三相无铁芯直驱电机,配合高分辨率光栅反馈,可实现最高 ±0.3μm 的重复定位精度,最小步长可达 100nm,确保加工过程中的微米级精度控制。

■X/Y 轴行程达 200×200mm,最大运动速度可达 500mm/s,兼顾了加工效率与定位精度,可适配不同尺寸工件的批量加工需求。

■设备搭载大理石基座,平面度控制在 10μm 以内,配合优化的直线度设计,有效抑制加工过程中的振动误差,保障长期稳定运行。

■系统支持定制化配置,可根据工艺需求调整光栅分辨率与电机推力,最大推力峰值达 210N,适配高负载加工场景。

■无论是高精度切割、微孔加工还是精密打标,该系统均能提供稳定可靠的性能支持,三轴精密运动激光加工系统是精密制造领域的理想加工解决方案。

三轴精密运动激光加工系统是一款专为高精度激光加工场景打造的自动化设备,集成了高稳定性运动平台与精密控制单元,广泛应用于电子、半导体、精密机械等领域的微加工、切割与打标工序。


产品参数


三轴精密运动激光加工系统


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